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日本DNP开发1.4nm级NIL纳米压印图案化模板，有了解吗

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新一代模板采用 SADP“套刻”方案，通过在初步图案的基础上薄膜沉积和蚀刻使线宽降低到 10nm。

ni

讨论回答 (6)

纯纯小猫哥

其实日本的技术还是挺先进的

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鲜奶千层雪

回复纯纯小猫哥：日本技术确实牛，4nm模板精度够狠

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这也太专业了，根本看不懂啊

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心语心愿

回复看壹ke壹：看不懂就对了，这玩意儿是给半导体大佬们看的

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