中国电子特气企业概览-ZOL问答

中国电子特气企业概览

在晶圆制造过程中，电子特气扮演着至关重要的角色，其品种多达上百种，且不同品种的气体在合成、纯化、充装、储运等环节要求各异。随着国内半导体产业的快速发展，电子特气行业也迎来了前所未有的发展机遇。以下是对中国几家主要电子特气企业的概览：

一、华特气体

华特气体是国内最大的民营特种气体及相关设备供应商之一，专业从事气体及气体设备的研发和生产。其气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、超高纯气体等多个系列，共200多个品种。在特种气体方面，华特气体生产销售的高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳等约230余种产品，打破了多项进口制约，并实现近20个产品的进口替代。

华特气体的核心竞争优势在于客户的认证壁垒以及合成、纯化、混配等生产环节的实际经验。其客户涵盖中芯国际、华虹宏力、长江存储等国内一线知名客户，以及英特尔、美光等全球领先的半导体企业。

二、雅克科技

雅克科技于2017年收购成都科美特，业务拓展至电子特气领域。科美特专注于含氟类特种气体的研发、生产、提纯与销售，主要产品为六氟化硫和四氟化碳。其中，工业级六氟化硫主要供应国内外大型电气设备制造商，而电子级六氟化硫和四氟化碳则最终销售给日本、台湾和美国等国外半导体制造商。

科美特在四氟化碳领域拥有高纯度、质量稳定的产品，已成为台积电14A工厂的唯一供应商，并逐步扩大到其它工厂，同时开发了Intel、三星电子等重点客户。在六氟化硫领域，科美特拥有全球领先的纯度和质量，产品可用于电力设备和半导体领域。

三、昊华科技

昊华科技的前身为天科股份，主营业务为氟材料、特种气体、特种橡塑制品、精细化学品和技术服务五大板块。在特种气体方面，公司特气产品主要依托下属黎明院和光明院开展。

黎明院是国内最早从事六氟化硫工艺研发的单位，其高纯六氟化硫的研制工作始于2002年，并于2006年投产。目前，黎明院正在建设4600吨/年电子特气扩建项目。而光明院则此前为生产高能燃料乙硼烷开展三氟化硼的合成、分析、络合的研究，并参与了包括SiH4、PH3、B2H6等多种超纯气体的研制攻关项目。