中国电子特气企业概览
在晶圆制造过程中,电子特气扮演着至关重要的角色,其品种多达上百种,且不同品种的气体在合成、纯化、充装、储运等环节要求各异。随着国内半导体产业的快速发展,电子特气行业也迎来了前所未有的发展机遇。以下是对中国几家主要电子特气企业的概览:
一、华特气体
华特气体是国内最大的民营特种气体及相关设备供应商之一,专业从事气体及气体设备的研发和生产。其气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、超高纯气体等多个系列,共200多个品种。在特种气体方面,华特气体生产销售的高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳等约230余种产品,打破了多项进口制约,并实现近20个产品的进口替代。
华特气体的核心竞争优势在于客户的认证壁垒以及合成、纯化、混配等生产环节的实际经验。其客户涵盖中芯国际、华虹宏力、长江存储等国内一线知名客户,以及英特尔、美光等全球领先的半导体企业。
二、雅克科技
雅克科技于2017年收购成都科美特,业务拓展至电子特气领域。科美特专注于含氟类特种气体的研发、生产、提纯与销售,主要产品为六氟化硫和四氟化碳。其中,工业级六氟化硫主要供应国内外大型电气设备制造商,而电子级六氟化硫和四氟化碳则最终销售给日本、台湾和美国等国外半导体制造商。
科美特在四氟化碳领域拥有高纯度、质量稳定的产品,已成为台积电14A工厂的唯一供应商,并逐步扩大到其它工厂,同时开发了Intel、三星电子等重点客户。在六氟化硫领域,科美特拥有全球领先的纯度和质量,产品可用于电力设备和半导体领域。
三、昊华科技
昊华科技的前身为天科股份,主营业务为氟材料、特种气体、特种橡塑制品、精细化学品和技术服务五大板块。在特种气体方面,公司特气产品主要依托下属黎明院和光明院开展。
黎明院是国内最早从事六氟化硫工艺研发的单位,其高纯六氟化硫的研制工作始于2002年,并于2006年投产。目前,黎明院正在建设4600吨/年电子特气扩建项目。而光明院则此前为生产高能燃料乙硼烷开展三氟化硼的合成、分析、络合的研究,并参与了包括SiH4、PH3、B2H6等多种超纯气体的研制攻关项目。

四、南大光电
南大光电是主要从事先进前驱体材料、电子特气、光刻胶及配套材料三类半导体材料产品生产、研发和销售的高新技术企业。在电子特气方面,公司主要通过收购山东飞源气体来拓展业务。飞源气体作为国内三氟化氮重要供应商中唯一民企,在三氟化氮产品全链条取得突破,产品已成功进入台积电、中芯国际等大客户。
南大光电的电子特气板块主要包括氢类电子特气产品和含氟电子特气产品。其中,氢类电子特气产品如磷烷、砷烷等,已打破国外技术封锁和垄断,产品纯度已达到6N级别。而含氟电子特气产品则主要包括三氟化氮、六氟化硫等,其中三氟化氮产量位居国内第二,具有较强的竞争力。
综上所述,中国电子特气企业在不断发展和壮大,通过技术创新和市场拓展,逐步打破了国外企业的垄断地位。未来,随着半导体产业的持续发展和国产替代的加速推进,中国电子特气企业将迎来更加广阔的发展前景。